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由此來看,EUV真正導入量產時間點,將落在2018~2019年之間,而2017年將是加快布建EUV產能並完成製程認證的重要時間。也因此,在EUV光罩盒擁有許多專利的家登,將成為微影技術快速走向EUV時代的主要受惠者,今年已接獲國際半導體大廠的EUV光罩盒訂單並小量出貨,台中快速借錢明年出貨量將明顯放大,2019年可望擠身全球最大EUV光罩盒供應商。

事實上,隨著邏輯製程微縮到7奈米以下,為了有效降低成長及提高產能,EUV技術取代現行的浸潤式技術已是未來趨勢。除了英特爾計畫在7奈米採用EUV技術後,三星也已宣布將在7奈米開始導入EUV製程。

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隨著新一代極紫外光(EUV)微影技術日漸成熟,繼英特爾及三星決定在7奈米導入EUV技術後,台積電也計畫在7奈米量產的第二年開始導入EUV技術。業者預估,EUV進入量產時間點將落在2018~2019年之間,2017年將是布建產能及完成技術認證的關鍵年,設備廠家登(3680)EUV光罩盒(EUV Pod)已土地銀行土地貸款利率青年首購低利貸款>信貸利率最低獲半導體廠大單並量產出貨,對今、明兩年展望樂觀。

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台積電原本預期在5奈米世代才會導入EUV,但共同執行長劉德音於日前法說會中指出,將在7奈米量產後一年,也就是2019年,開始在部分光罩製程中採用EUV技術,希望可以讓製程更成熟以利5奈米時可大量導入EUV。

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